蓝动精密成数千万A+轮融资，弘晖基金、毅达资本联合领投

近日，深圳蓝动精密有限公司（以下简称“蓝动精密”）完成数千万人民币的A+轮融资。本轮融由弘晖基金和毅达资本联合领投，将进一步推动公司半导体设备真空气路系统核心零部件国产化研发的进程。

蓝动精密成立于2023年，公司致力于为半导体行业提供具有自主知识产权的国产化关键零部件。

自成立以来，蓝动精密通过打造世界一流的集成电路装备研发中心、规模化先进工艺制造中心，迅速、高效的销售应用服务网络，逐步建立平台化、系列化、高可靠性的产品矩阵，形成覆盖全链路的产品版图，加速发展成为集成电路产业未来新引擎。

蓝动精密在气体传输系统设备等关键领域实现技术突破，已拥有近30项知识产权，是少数在半导体领域实现批量供应质量流量控制器（MFC）、晶圆背气压力控制器（UPC）的国产供应商，产品性能对标国际一线半导体零部件厂商，为国内半导体设备供应链提供了有力的保障。

MFC广泛应用于半导体工艺，如物理气相沉积、化学气相沉积、原子层沉积、刻蚀、离子注入、外延、快速热处理等，用于快速精确控制上述过程中使用的气体流量。

UPC是半导体工艺设备的关键组件，主要用于晶圆背气压力控制，从而实现卡盘到晶圆的稳定热交换，使得晶圆在工艺过程中维持良好的温度均匀性及稳定性，涉及工艺主要为刻蚀、离子注入、薄膜沉积等。