半导体光学量测设备研发商“匠岭科技”完成数亿元B轮及B+轮融资

近日，半导体光学量测设备研发商匠岭科技完成数亿元B轮及B+轮融资，本轮融资由石溪资本（B轮领投方）、启明创投（B+轮领投方）联合合肥产投国正、临港数科基金、元禾璞华、混沌投资等共同完成，老股东冯源资本也多次追加投资。

据了解，本轮融资将主要用于新产品研发和规模化产能布局，进一步推动半导体量检测设备的自主创新与国产化替代。

董事长蒋俭威表示，国内半导体量测设备年采购额超300亿元，但自主化率不足5%，匠岭的目标是通过技术突破，助力产业链实现“从0到100”的跨越。

匠岭科技（上海）有限公司成立于2019年3月，核心技术团队由全球半导体头部企业资深专家组成，平均行业经验超过15年，研发人员占比超50%，硕博人才比例达40%。

据介绍，匠岭科技聚焦前道工艺控制中的**关键薄膜量测（Critical Thin Film Thickness）与光学关键尺寸量测（Optical Critical Dimension, OCD）**两大核心技术领域，通过自主研发实现了多项突破：

TFT系列薄膜量测设备：采用高精度光学系统与光谱算法，攻克了金属互连层（超薄膜叠层）与栅极氧化层（超薄单层膜）的国际性量测难题，支撑了本土晶圆厂稀缺工艺的稳定量产。

OCD量测设备：突破光学线宽测量技术壁垒，适配先进制程的工艺迭代需求，成为国内首家实现该领域国产化的企业。

目前，匠岭科技已形成四大产品系列、20余款设备的完整矩阵，覆盖晶圆制造、先进封装、化合物半导体等领域，并成功打入欧洲、东南亚及中国台湾市场。

值得一提的是，2024年12月18日，匠岭科技全球总部在上海临港新片区正式启用。这座集研发办公、千级洁净室、多功能展厅于一体的现代化综合体，不仅为公司提供了技术创新的核心基地，也为客户搭建了样品测试中心，全面展示最新科研成果。

与此同时，匠岭科技与浙江亿方杭创达成战略合作，成立“双翼”联合实验室，推动半导体量测设备与高端算力的深度融合，以提升检测效率与精度，赋能产业智能化升级。